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晶镓半导体受让氮化铝AlN全套专利,成为全球唯一同时掌握GaN/AlN自主衬底知识产权厂商

发布时间:昨天 17:59

类别:行业动态

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摘要:

晶镓半导体受让氮化铝AlN全套专利,成为全球唯一同时掌握GaN/AlN自主衬底知识产权厂商

6 月 10 日,第三代半导体产业传来重磅产学研转化消息,晶镓半导体正式受让山东大学团队全套氮化铝 AlN 单晶衬底制备核心技术与完整专利体系,叠加企业已规模化量产的氮化镓 GaN 衬底自研技术,一跃成为全球范围内唯一同时拥有 GaN、AlN 两大超宽禁带半导体衬底完整自主知识产权的厂商,夯实国内第三代半导体底层材料技术壁垒,补齐射频、功率、深紫外芯片核心衬底短板。

氮化铝 AlN 属于超宽禁带半导体核心衬底材料,具备超高导热、高频低损耗、耐高温等优势,是 6G 射频器件、大功率快充、新能源车载功率芯片、深紫外光电器件的底层核心基材。长期以来,国内高端 AlN 单晶衬底量产技术存在多重瓶颈:高纯原料提纯难度高、晶体扩径工艺不成熟、衬底抛光精度不足、配套生长设备兼容性差,高端产品高度依赖海外进口,制约国内宽禁带半导体全链条发展。

山东大学攻关团队深耕 AlN 晶体生长十余年,自主定制专用热场设备与晶体生长控制系统,逐一攻克杂相晶体剔除、原子级平整成核、低应力晶体成型等核心工艺,自研衬底残余应力、平整度、导热系数等关键指标达到国际头部厂商水准,全套工艺覆盖设备、原料、生长、加工全流程,配套近百项发明专利,具备完整产业化落地条件。

晶镓半导体原有业务聚焦 2/4/6 英寸氮化镓衬底规模化生产,产品批量供应国内射频、快充、车载芯片厂商,国内市占率稳居行业前列。本次技术转让落地后,企业将同步搭建 AlN 单晶量产产线,分阶段完成 2 英寸、4 英寸大尺寸衬底迭代,形成 GaN+AlN 双主线衬底生产能力,覆盖低压快充、高压车载、6G 毫米波通信、激光雷达等多元应用场景。

全球第三代半导体行业竞争持续升温,海外龙头企业持续加码 SiC、GaN 衬底扩产,同步布局 AlN 下一代材料技术抢占长期赛道。国内层面,CASA 联盟 6 月连续发布三项碳化硅设备、车载功率器件行业标准,天岳先进主导多项 SiC 国标落地,士兰微、英诺赛科 8 英寸宽禁带产线持续通线投产,国内第三代半导体形成 “衬底 - 外延 - 器件 - 模组 - 终端” 完整发展生态。

从产业战略价值来看,衬底是第三代半导体产业链最上游、技术壁垒最高的环节,本次国内企业同步掌握两类核心衬底自主专利,彻底摆脱底层材料技术外部依赖。伴随新能源汽车、AI 服务器电源、6G 通信产业爆发,宽禁带半导体市场规模将迎来指数级增长,具备全谱系衬底自研量产能力的国内企业,将在全球功率半导体、射频芯片竞争中掌握技术主动权,推动国内第三代半导体产业从规模化追赶转向技术引领。

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